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FFU的特点及性能参数
作者:管理员 来源:本站 浏览数:2031 发布时间:2016/9/3 9:37:38

    FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

 

 

FFU具有的特点:

第一,灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应的调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

第二,可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

第三,负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内,使得密封变得很简单而且安全。

第四,缩短建设周期。使用FFU省掉了风箱的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。

第五,减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但在它后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。

 

FFU组合的关键性能参数:

模数尺寸:安装吊顶龙骨中心线的间距,FFU常用的标准模数尺寸为1200*600(4" * 2")、1200*9004" * 3")、1200*12004" * 4")。

实际尺寸:FFU过滤器的实际尺寸=模块尺寸-(龙骨断面宽度-25mm),风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的圆顶龙骨端面宽度为 55mm,模数尺寸为1200,900,600所对应的FFU过滤器实际尺寸1170,870,570,风机模块的实际尺寸为1174,874,574。

机外余压:在某一设定风速下,风机模块的总静压下(TSP)扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力,即为机外余压(ESP),单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力,无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP,都必需指名送风风速或风量,否则没有意义。

输入能耗:FFU正常运转时输入电压或输入电流的乘积,单位是W。显然,FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,输入能耗不同。因此,如果不指名运行工况点,输入能耗值没有意义。

单位噪音:根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2m处的噪音值,单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,噪音不同。因此,如果不指明运行工况点,噪音值没有意义。

微振:根据标准IES-RP-CC002,FFU在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率,单位分别是mm和mm/s。

送风均匀度:根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时,在距离出风面下方150mm(6"" )的水平面上测量逐点的风速,得出平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度,单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。

过滤器效率等级:依据欧洲标准EN1822,过滤器等级从H10-H14,U15-U17,或依据美国标准MIL-282(HEPA)对于0.3um的效率值;依据美国标准IES-RP-CC007.1,对于0.12um的效率值。